| 单晶SiNd：YAG激光连续退火的数值计算 |
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| 引用本文： | 傅仁武 陈朝 MarkevichMI.单晶SiNd：YAG激光连续退火的数值计算[J].发光学报,2000,21(4):320-323. |
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| 作者姓名： | 傅仁武 陈朝 MarkevichMI |
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| 作者单位： | [1]厦门大学物理系，福建厦门361005 [2]白俄罗斯科学院电子学研究所，明斯克220841 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大项目!(6 98870 0 2 ) |
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| 摘 要： | 应用固相外延模型来模拟单晶Si的连续Nd：YAG激光退火过程,在低功率密度连续激光退火下,用准静态模型模拟辐照区向非辐照区的径向传导散热。在数值计算中，应用部分线性法处理非线性非齐次热传导方程,得到相应的隐格式差分方程，再用追赶法求解隐格式差分方程,得出绝热边界条件下的温度的时间和空间分布，从而得出激光退火的再结晶厚度。当激光波长λ=1．06μm、功率密度io=700W／cm^2。预热温度T0=523K时，经过0．7秒，表面温度度升到1290K左右，再结晶厚度约为0．5μm。
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| 关 键 词： | 单晶硅 激光退火 固相外延 准静态模型 YAG激光器 热传导方程 隐格式差分方程 再结晶厚度 离子注入技术 |
| 修稿时间： | 2000-10-20 |
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