CdS/CdTe异质结复合薄膜的制备及其性能表征 |
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引用本文: | 李忠贤,邹凯.CdS/CdTe异质结复合薄膜的制备及其性能表征[J].电子显微学报,2014(4). |
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作者姓名: | 李忠贤 邹凯 |
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作者单位: | 内蒙古医科大学物理教研室;内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室;内蒙古大学物理科学与技术学院; |
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基金项目: | 内蒙古自治区半导体光伏技术重点实验室开放课题资助项目(2013ND1015) |
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摘 要: | 在玻璃衬底上依次采用化学水浴法(CBD)和真空蒸发工艺沉积CdS和CdTe薄膜,并在不同条件下进行热处理,制备了CdTe/CdS异质结复合薄膜。利用XRD、SEM、AFM和UV-VIS透射光谱对薄膜的结构、表面形貌、剖面及光学性能进行了研究。结果表明:以玻璃衬底和CdS薄膜作为衬底沉积的CdTe多晶薄膜结构相似,均具有(1l1)面择优取向;不同条件下制备的薄膜致密且粒径均匀,随着热处理温度的升高,薄膜晶粒增大明显,并出现CdS层减薄的现象,但薄膜的粗糙度也随之增大;CdCl2氛围下热处理后,薄膜粒径增大,粗糙度明显降低,其(111)晶面的择优取向进一步增强,且透过率下降,这对于提高太阳电池的光谱响应是非常有利的。
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关 键 词: | CdS/CdTe异质结 微结构 光学性能 XRD |
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