影响AlN陶瓷热导率的本征氧缺陷 |
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作者姓名: | 吴音 缪卫国 |
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作者单位: | 清华大学材料科学与工程系 |
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摘 要: | 对AlN晶格中的铝空位,延展缺陷等进行了研究,研究表明,在固溶氧浓度较低(〈0.75,原子百分数)的高热导率AlN试样中,铝空位的存在会造成的AlN晶胞局域收缩的现象,并观察到了铝空位的存在;固溶氧浓度较高(〉0.75%)时,孤立的缺陷产生团聚,形成铝氧八面体;在氧浓度很高(〉0.75%)的低热导率试样中观察到了反相区,多型体等延展缺陷。
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关 键 词: | 氮化铝 缺陷 热导率 陶瓷 |
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