| 纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性 |
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| 引用本文： | 袁泽明,张永强,姚宁,张兵临. 纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性[J]. 人工晶体学报, 2012, 41(6): 1768-1771 |
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| 作者姓名： | 袁泽明 张永强 姚宁 张兵临 |
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| 作者单位： | 河南财经政法大学计算机与信息工程学院,郑州,450002;郑州大学材料物理教育部重点实验室,郑州,450052 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61076041);教育部科学技术研究重点项目(205091);河南省科技攻关项目(0624250014) |
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| 摘 要： | 采用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在涂有FeCl3的硅衬底上制备出了纳米非晶碳薄膜.通 过SEM、XRD和拉曼光谱分析了薄膜材料的形貌和结构.并研究了薄膜材料的场发射特性.结果表明:薄膜的开启电场仅为0.39 V/μm;当电场强度为1.85 V/μm时,电流密度高达3.06 mA/cm2；且场发射点均匀、密集、稳定.迭代法计算表明薄膜材料的功函数为3.1 eV,发射点密度约为1.7×105个/cm2.这些均表明该薄膜是一种性能优良的场发射阴极材料.
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| 关 键 词： | 纳米非晶碳 场致电子发射 FeCl3 微波等离子增强化学气相沉积, |
Synthesis and Field Emission Characteristics of the Amorphous Nano-carbon Films |
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| YUAN Ze-ming , ZHANG Yong-qiang , YAO Ning , ZHANG Bing-lin. Synthesis and Field Emission Characteristics of the Amorphous Nano-carbon Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2012, 41(6): 1768-1771 |
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| Authors: | YUAN Ze-ming ZHANG Yong-qiang YAO Ning ZHANG Bing-lin |
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| Affiliation: | 1.College of Computer and Information Engineering,Henan University of Economics and Law,Zhengzhou 450002,China; 2.Key Laboratory of Material Physics of the Ministry of Education,Zhengzhou University,Zhengzhou 450052,China) |
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| Abstract: | |
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