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| SnO2膜导电玻璃性能的研究 | |
| 引用本文： | 朱月秀,王德苗.SnO2膜导电玻璃性能的研究[J].材料科学与工程,2002,20(1):72-74. |
| 作者姓名： | 朱月秀 王德苗 |
| 作者单位： | [1]温州大学信息科学与工程学院，浙江温州352027 [2]浙江大学信电系，浙江杭州310027 |
| 摘 要： | 采用喷镀法制备SnO2膜导电玻璃，研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响。用SEM、XPS和XRD分析了SnO2膜的形貌与导电性能，并研究了其透光性、反射性及热稳定性。结果表明：SnO2膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体，在可见光范围内透光率达88%以上并具有较好的热稳定性。 |
| 关 键 词： | SnO2膜 谱图分析 透光率 热稳定性 导电玻璃 喷镀法 二氧化锡膜 |
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