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| 用Franz-Keldysh效应研究GaAs表面硫化学钝化 | |
| 引用本文： | 廖友贵,金鹏,李乙钢,张存洲,潘士宏,梁基本.用Franz-Keldysh效应研究GaAs表面硫化学钝化[J].半导体学报,1999,20(11):1004-1009. |
| 作者姓名： | 廖友贵 金鹏 李乙钢 张存洲 潘士宏 梁基本 |
| 作者单位： | [1]南开大学物理系 [2]中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 硫钝化是一种比较有效的钝化ＧａＡｓ表面的方法．本文使用Ｎａ２Ｓ、Ｓ２Ｃｌ２和ＣＨ３ＣＳＮＨ２三种化学试剂对表面本征层重掺杂层（ｓｉｎ＋）结构的ＧａＡｓ样品进行了钝化，利用光调制反射谱观察到许多个ＦｒａｎｚＫｅｌｄｙｓｈ振荡，测量出本征层的电场强度，研究了ＧａＡｓ表面硫钝化前后费米能级的变化，并且比较了各种钝化方法的钝化效果． |
| 关 键 词： | 砷化镓 硫钝化 F－K效应 半导体表面 |
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