| DC Arc Plasma Jet CVD自支撑金刚石膜表面形貌的研究 |
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| 引用本文： | 戴风伟,陈广超,兰昊,J.Askari,宋建华,李成明,佟玉梅,李彬,黑立富,唐伟忠,吕反修.DC Arc Plasma Jet CVD自支撑金刚石膜表面形貌的研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2007(4):13-15,21. |
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| 作者姓名： | 戴风伟 陈广超 兰昊 J.Askari 宋建华 李成明 佟玉梅 李彬 黑立富 唐伟忠 吕反修 |
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| 作者单位： | 北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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国家自然科学基金
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教育部留学回国人员科研启动基金
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北京市科技新星计划项目
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北京市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 本文采用30kW级直流电弧等离子体喷射法沉积自支撑金刚石膜,研究了大进气量条件下不同的甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌及晶面取向的影响,当甲烷浓度达到一定程度时,出现纳米二次晶的形核,晶粒细化,微米金刚石转变成为纳米金刚石.同时不同的氩氢配比对金刚石膜的表面形貌也产生一定的影响.在高甲烷浓度的情况下,可以得到一种具有(111)取向的微米级金刚石膜.结果表明,随着甲烷浓度和氩氢比(Ar/H2)的增加,金刚石膜表面晶粒尺寸是呈逐渐减小趋势的,此外,通过控制甲烷浓度可以得到(111)晶面的高取向金刚石膜,当甲烷浓度为20%时,金刚石膜表面晶粒的(111)晶面可以达到高取向.
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| 关 键 词： | 表面形貌 二次形核 晶面取向 DC Arc Plasma Jet CVD 自支撑 纳米金刚石 膜表面形貌 研究 diamond films surface morphology 表面晶粒 高取向 晶面取向 控制 趋势 晶粒尺寸 结果 微米级 情况 配比 转变 微米金刚石 晶粒细化 |
| 文章编号： | 1006-852X（2007）04-0013-03 |
| 修稿时间： | 2007-04-18 |
Study of surface morphology of DC Arc Plasma Jet CVD free-standing diamond films |
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| Dai Fengwei,Chen Guangchao,Lan Hao,J.Askari,Song Jianhua,Li Chengming,Tong Yumei,Li Bin,Hei Lifu,Tang Weizhong,Lv Fanxiu.Study of surface morphology of DC Arc Plasma Jet CVD free-standing diamond films[J].Diamond & Abrasives Engineering,2007(4):13-15,21. |
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| Authors: | Dai Fengwei Chen Guangchao Lan Hao JAskari Song Jianhua Li Chengming Tong Yumei Li Bin Hei Lifu Tang Weizhong Lv Fanxiu |
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| Affiliation: | University of Science and Technology Belting, School of Materials Science and Engineering , Beijing 100083, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface morphology secondary nuclei orientation |
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