| MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用 |
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| 引用本文： | 卿健,石艳玲,赖宗声,朱自强.MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用[J].微电子学,2002,32(4):241-244. |
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| 作者姓名： | 卿健 石艳玲 赖宗声 朱自强 |
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| 作者单位： | 华东师范大学,电子科学技术系,上海,200062 |
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| 基金项目： | 国家 973项目《集成微光机电系统研究》(G19990 3310 5 )，国家自然科学基金 (6 9876 0 12 )，国家杰出青年基金(6 9975 40 9)，高等学校博士学科点专项科研基金 (1998年度 )，上海应用材料研究与发展基金 (2 0 0 1年度 )资助项目 |
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| 摘 要： | 从传统移相器的构造和原理出发，进一步分析了MEMS移相器的结构、特性。结果表明，MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。随着高阻硅衬底在微波领域应用的扩展，MEMS移相器介质损耗大幅度降低，将能与信号处理电路一同集成于硅衬底上，便于相控阵雷达等通信系统实现微小型化。
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| 关 键 词： | MEMS 移相器 PIN二极管 通信系统 |
| 文章编号： | 1004-3365(2002)04-0241-04 |
| 修稿时间： | 2001年9月11日 |
MEMS Phase Shifter and Its Application in Mini-Communication Systems |
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| QING Jian,SHI Yan ling,LAI Zong sheng,ZHU Zi qiang.MEMS Phase Shifter and Its Application in Mini-Communication Systems[J].Microelectronics,2002,32(4):241-244. |
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| Authors: | QING Jian SHI Yan ling LAI Zong sheng ZHU Zi qiang |
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| Abstract: | The structure of MEMS phase shifter and its characteristics are analyzed in the paper Compared with the traditional phase shifter, the MEMS phase shifter has smaller volume, lower loss, lower cost,broader band and easy integration with the circuits With the application of high impedance silicon in wireless communication field, the dielectric loss for MEMS phase shifter would be greatly reduced and the device could be integrated with other circuits, facilitating miniaturization of communication systems such as phase array radar |
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| Keywords: | Phase shifter MEMS PIN diode Communication system |
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