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| 以废弃电子级硅片回收高纯硅的工艺研究 | |
| 引用本文： | 徐华毕,梁宗存,李青松,李仲吉,沈辉.以废弃电子级硅片回收高纯硅的工艺研究[J].太阳能学报,2008,29(5):560-563. |
| 作者姓名： | 徐华毕 梁宗存 李青松 李仲吉 沈辉 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院广州能源研究所,广州,510640;中山大学太阳能系统研究所,广州,510006 2. 中山大学太阳能系统研究所,广州,510006 3. 深圳先行电子有限公司,深圳,518108 |
| 摘 要： | 讨论了来源于半导体器件行业的废弃电子级硅片的回收处理工艺.首先对不同样品进行分类,然后对硅片表面金属杂质层进行喷砂或化学腐蚀处理;并对样品进行了扫描电镜(SEM)、电学性能和痕量杂质元素方面的测试和分析.结果表明使用该方法回收处理废弃硅片切实可行,并能有效地节约利用高纯硅材料,对当前供不应求的太阳能级硅材料起到一定的补充作用. |
| 关 键 词： | 废弃电子级硅片 回收 喷砂 化学腐蚀 废弃 电子级 硅片表面 回收处理 高纯硅 工艺研究 SILICON GRADE ELECTRONIC MATERIALS HIGH PURITY RECYCLING TECHNOLOGY 补充作用 太阳能 硅材料 节约利用 片切 方法 使用 |
| 文章编号： | 0254-0096(2008)05-0560-04 |
| 修稿时间： | 2006年12月26 |
STUDY ON THE TECHNOLOGY OF RECYCLING HIGH PURITY SILICON MATERIALS FROM ELECTRONIC GRADE SILICON SCRAPS |
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| Xu Huabi,Liang Zongcun,Li Qingsong,Li Zhongji,Shen Hui.STUDY ON THE TECHNOLOGY OF RECYCLING HIGH PURITY SILICON MATERIALS FROM ELECTRONIC GRADE SILICON SCRAPS[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2008,29(5):560-563. | |
| Authors: | Xu Huabi Liang Zongcun Li Qingsong Li Zhongji Shen Hui |
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