| 应用于FED Al/Ag/Al导电复合薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 杨兰,郭太良.应用于FED Al/Ag/Al导电复合薄膜的研究[J].功能材料,2011,42(12). |
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| 作者姓名： | 杨兰 郭太良 |
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| 作者单位： | 1. 集美大学理学院,福建厦门,361021
2. 福州大学物理与信息工程学院,福建福州,350002 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)重大专项资助项目，教育部博导基金资助项目，电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题资助项目，黄慧贞集美大学学科建设基金资助项目 |
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| 摘 要： | 利用Ag的高温抗氧化能力,采用磁控溅射沉积Al/Ag/Al导电复合薄膜,并在480℃下进行热处理。扫描电子显微镜（SEM）和能谱分析（EDS）研究表明磁控溅射的Al/Ag/Al导电复合薄膜表面平整,热处理后表面Al膜生成致密的氧化层。溅射沉积和热处理过程中Ag和Al原子的相互扩散,最后形成富Ag的Ag-Al合金和Ag3Al化合物。Al/Ag/Al导电复合薄膜比Ag/Al复合薄膜的电阻率增大了一个数量级,导电复合薄膜热处理后导电性能更优,电阻率约为19.4×10-6Ω.cm。
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| 关 键 词： | Al/Ag/Al 导电复合薄膜 热处理 电阻率 |
Study on Al/Ag/Al electric composite films applied in FED |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Al/Ag/Al electric composite films heat treatment resistivity |
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