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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
TFT-LCD玻璃基板板面划伤管控措施
作者姓名:
何旭
闵蛟
作者单位:
成都中光电科技有限公司
摘 要:
液晶玻璃基板生产过程中会产生各种板面缺陷,划伤为其代表性一种,这类缺陷与制造过程中所接触的设备零部件及介质有很大关联。为保证高品质玻璃基板产品,通过对TFT-LCD玻璃基板板面划伤产生机理分析、发生的风险识别,重点进行玻璃基板接触设备零部件及介质所引发板面划伤评估,制定相关的应对措施。摸索出了适合板面高品质要求的玻璃基板生产设备管控措施,达到了有效降低玻璃基板划伤产生的目的。
关 键 词:
TFT-LCD玻璃基板
划伤
板面品质
管控措施
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