| 激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体 |
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| 引用本文： | 陈磊,王锐,黄永攀,李道火. 激光诱导六甲基乙硅胺烷制备氮化硅纳米粉体[J]. 光电子技术与信息, 2005, 18(3): 10-13 |
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| 作者姓名： | 陈磊 王锐 黄永攀 李道火 |
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| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031 |
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| 摘 要： | 针对激光气相合成氮化硅纳米粉体的性能与成本的矛盾，在对激光合成反应物的研究与分析的基础上，选择廉价、无氯硫、对CO2激光有强吸收、易于处理的有机硅烷反应物六甲基乙硅胺烷(HMDS)作为价格昂贵、难以处理的硅烷(SiH4)的替代反应物，进行了激光合成氮化硅纳米粉体的研究。
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| 关 键 词： | 激光诱导化学气相合成 六甲基乙硅胺烷 氮化硅纳米粉体 |
| 文章编号： | 1006-1231(2005)03-0010-04 |
| 修稿时间： | 2004-04-23 |
Preparation of Silicon Nitride Nano-powders with Laser Induced HMDS |
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| CHEN Lei,WANG Rui,HUANG Yong-pan,LI Dao-huo. Preparation of Silicon Nitride Nano-powders with Laser Induced HMDS[J]. Optoelectronic Technology & Information, 2005, 18(3): 10-13 |
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| Authors: | CHEN Lei WANG Rui HUANG Yong-pan LI Dao-huo |
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