| 超纯电子混合气体及标准气体的配制技术 |
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| 引用本文： | 孙福楠 李 健,于大秋,丛 林,任 越,韩 薇,柳 蔚. 超纯电子混合气体及标准气体的配制技术[J]. 低温与特气, 2014, 0(1): 1-4 |
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| 作者姓名： | 孙福楠 李 健 于大秋 丛 林 任 越 韩 薇 柳 蔚 |
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| 作者单位： | 中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁大连甘井子甘北路34号116031 |
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| 摘 要： | 介绍了电子混合气体的配制方法,指出我国此类气体在制备过程中存在的诸多问题。并对国外电子混合气体配制精度、组分气体和平衡气体的杂质要求进行了极其详细的分析。
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| 关 键 词： | 混合气 电子气 配气装置 超纯气体 磷烷 硅烷 乙硼烷 分析 |
The Preparation Technology of Ultra-Purity Electronic Mixed Gases |
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| SUN Funan,LI Jian,YU Daqiu,CONG Lin,REN Yue,HAN Wei,LIU Wei. The Preparation Technology of Ultra-Purity Electronic Mixed Gases[J]. Low Temperature and Specialty Gases, 2014, 0(1): 1-4 |
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| Authors: | SUN Funan LI Jian YU Daqiu CONG Lin REN Yue HAN Wei LIU Wei |
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| Affiliation: | ( Zhonghao Guangming Research＆Design Institute of Chemical Industry Co. , Ltd. , Dalian 116031, China) |
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| Abstract: | The article introduce the preparation method of electronic mixed gases, and point out the several problems in the preparation of this kind of gases. Analyze the preparation precision of electronic mixed gases, the impurities of species gases and equilibrium gases abroad in detail. |
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| Keywords: | mixed gases electronic gases volumetric device ultra-purity gases phosphorane silane diborane analysis |
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