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| 自动PLA微力学结构动态参数测试系统 | |
| 引用本文： | 张洮,崔大付,李自高,陈德勇.自动PLA微力学结构动态参数测试系统[J].测控技术,1999,18(11):4-8. |
| 作者姓名： | 张洮 崔大付 李自高 陈德勇 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,100080 |
| 摘 要： | 基于锁相放大技术（ＰＬＡ）和真空度自动控制技术设计了一种有很大实践意义的微力学结构动态参数测试系统。作为例子，给出了这套系统测得的Ｓｉ谐振梁的非线性强迫振动（硬弹簧特性）有谐振点附近的从低频向高频扫描的幅频和相频曲线。 |
| 关 键 词： | 微力学结构 锁相放大 真空度自动控制 动态参数 |
| 修稿时间： | 1999-04) |
Automatic PLA Test System Used to Test Dynamic Parameters of Micromechanical Structure |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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