| 临界角法探焦静态特性实验研究 |
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| 引用本文： | 冯晓国,孙连春. 临界角法探焦静态特性实验研究[J]. 计量技术, 2005, 0(3): 3-5 |
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| 作者姓名： | 冯晓国 孙连春 |
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| 作者单位： | 1. 长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 长春光学精密机械与物理研究所,长春,130022 |
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| 摘 要： | 临界角法探焦分辨力高、动态范围适中、结构简单、系统调试容易。采用临界角棱镜、光电探测器等器件组成光路得到离焦信号便可计算出离焦量。实验采用单光路临界角法 ,用四象限探测器探测输出信号 ,物面微位移采用压电陶瓷作为驱动元件。通过对离焦误差信号FES的分析 ,得出临界角法探焦静态分辨力优于0 0 2 μm、线性范围可达± 4 5 μm。
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| 关 键 词： | 临界角 焦点探测 光刻 激光直写 |
Static Characteristic Experimental Research of Detecting Focus by Critical Angle |
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| Feng Xiaoguo,Sun Lianchun. Static Characteristic Experimental Research of Detecting Focus by Critical Angle[J]. Measurement Technique, 2005, 0(3): 3-5 |
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| Authors: | Feng Xiaoguo Sun Lianchun |
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