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| 低温水泵和分子泵组合替代低温泵的新设备 | |
| 引用本文： | 汪滨,沈志唯.低温水泵和分子泵组合替代低温泵的新设备[J].真空,1999(4):34-36. |
| 作者姓名： | 汪滨 沈志唯 |
| 作者单位： | 北京宝路多机电设备技术公司 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种新型超高真空辅助设备－低温水泵，用之和分子泵组合，可以获得１０＾－８Ｐａ的清洁超高真空，用在半导体集成电路生产过程中，可以使产品质量以及生产效率均得到改善和提高，抽气机理以及设计要点均在文中有所论述。 |
| 关 键 词： | 低温水泵 分子泵 超高真空 低温泵 |
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