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集成化传感器研制现状与发展趋势
引用本文:张佳成.集成化传感器研制现状与发展趋势[J].传感器与微系统,1989(4):7-11.
作者姓名:张佳成
作者单位:中科院上海冶金研究所
摘    要:本文介绍了近年来国内外集成型力敏、磁敏、温敏、光敏、气敏等传感器的研制与开发情况以及未来发展趋势。

关 键 词:传感器  集成化  集成电路
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