FBAR振荡器作为六端口反射计射频源的BAW传感器读出电路 BAW sensor read-out circuit with a FBAR oscillator as RF source of six-port reflectometer期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

FBAR振荡器作为六端口反射计射频源的BAW传感器读出电路

作者单位：	;1.中国工程物理研究院电子工程研究所;2.中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室;3.西南科技大学信息工程学院;4.重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室

摘要：	为解决由于FBAR的谐振频率处于射频频段,导致BAW传感器读出电路难以实现的问题,将FBAR振荡器作为六端口反射计射频源,以检测FBAR谐振频率,从而实现BAW传感器信号读出的新型读出电路。在ADS软件中,通过建立FBAR的MBVD模型并采用Pierce拓扑结构实现FBAR振荡器的仿真模型,以及建立六端口反射计的仿真模型,并结合两个仿真模型建立BAW传感器的最小系统模型。BAW传感器最小系统模型的仿真结果表明:由FBAR振荡器和六端口反射计实现BAW传感器读出电路的可行性。为实验验证该结构,搭建一个基于微带六端口网络实物的六端口反射计实验装置,准确地测得1个案例FBAR振荡器的振荡频率为1.5 GHz,该振荡频率就是传感器表头中FBAR的谐振频率。
关键词：	体声波传感器读出电路薄膜体声波谐振器振荡器六端口反射计
BAW sensor read-out circuit with a FBAR oscillator as RF source of six-port reflectometer

Abstract:

Keywords:
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