| 工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法 |
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| 引用本文： | 胡晓东,万建峰,吴森,徐临燕,李凯凯,徐建国,卢念航. 工业型扫描探针显微系统样品快速定位方法[J]. 纳米技术与精密工程, 2015, 0(1): 8-16 |
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| 作者姓名： | 胡晓东 万建峰 吴森 徐临燕 李凯凯 徐建国 卢念航 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2012AA041204)；国家自然科学基金资助项目(61204117)． |
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| 摘 要： | 针对工业型扫描探针显微镜(SPM)在大尺寸晶圆样品检测中对扫描区域进行粗定位的需要,提出了一种基于数字图像处理的快速定位方法.该方法首先实现对样品表面的快速自动聚焦,之后利用图像匹配技术寻找样品表面的定位标记,最后通过坐标变换得到各待测区域在系统坐标系下的位置.根据晶圆样品表面的特征,在自动聚焦过程中选取Robert算子作为聚焦评价函数,并以变步长的爬坡策略搜索焦平面;在图像匹配过程中采用SURF算法提取图像上的标记特征,并利用双向匹配方式提高匹配准确性.实验表明,采用该方法实现粗定位耗时小于30s,定位误差小于5μm.
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| 关 键 词： | 工业型扫描探针显微镜 自动聚焦 图像匹配 定位方法 |
Fast Positioning Method for Industrial Scanning Probe Microscopy |
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| Hu Xiaodong,Wan Jianfeng,Wu Sen,Xu Linyan,Li Kaikai,Xu Jianguo,Lu Nianhang. Fast Positioning Method for Industrial Scanning Probe Microscopy[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2015, 0(1): 8-16 |
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| Authors: | Hu Xiaodong Wan Jianfeng Wu Sen Xu Linyan Li Kaikai Xu Jianguo Lu Nianhang |
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| Affiliation: | Hu Xiaodong;Wan Jianfeng;Wu Sen;Xu Linyan;Li Kaikai;Xu Jianguo;Lu Nianhang;State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments( Tianjin University); |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | industrial scanning probe microscopy auto-focusing image matching positioning method |
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