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Φ1.2m F/1.5抛物面主镜补偿器
引用本文:陈强,袁家虎,伍凡,高平起,吴高峰.Φ1.2m F/1.5抛物面主镜补偿器[J].光学精密工程,2008,16(8):1384-1388.
作者姓名:陈强  袁家虎  伍凡  高平起  吴高峰
作者单位:1. 中国科学院成都光电技术研究所,四川成都610209;中国科学院研究生院,北京100039
2. 中国科学院成都光电技术研究所,四川成都,610209
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)
摘    要:用于Φ1200 F/1.5主镜面形检验的补偿器,需要补偿0.087mm的非球面度,并实现0.033λ(RMS)面形检测要求。详细介绍了该补偿器的设计、误差分析、加工、标校及最终主镜检测的情况;用于主镜检测前用计算全息(CGH)对补偿器标校显示:补偿器产生的抛物面面形误差为0.012λ(RMS),二次曲面常数K的误差0.0064%;主镜最终的补偿检测结果为:面形0.027λ(RMS),二次曲面常数K的误差0.0306%,与分析的结果相符合。结果表明:补偿器设计合理,建立的误差分析原则和方法可行,加工质量可靠,这将为更大口径高陡度非球面主镜的补偿检验奠定坚实基础。

关 键 词:光学加工  非球面检验  零补偿检验  补偿器设计  补偿器标校
收稿时间:2008-04-23
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