| 基于扭转RF MEMS开关的设计 |
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| 引用本文： | 宋明歆,许铁,殷景华.基于扭转RF MEMS开关的设计[J].哈尔滨理工大学学报,2008,13(1):86-89. |
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| 作者姓名： | 宋明歆 许铁 殷景华 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨理工大学应用科学学院,黑龙江,哈尔滨,150080
2. 国家电网公司伊春电业局,黑龙江,伊春153000 |
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| 摘 要： | 为了降低RF MEMS开关的驱动电压,根据扭转力学和应变力学理论,提出了基于扭转RF MEMS的开关模型,建立了相关数学公式,给出了加工工艺流程,并仿真得到了不同条件下RF MEMS开关的电机械性能.工艺仿真结果表明:完全可以利用已有生产流程制造基于扭转的RFMEMS开关.性能仿真结果表明:在同等条件下,采用扭转机制,RF MEMS开关的制动电压将降低30%.
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| 关 键 词： | RFMEMS 开关 制作工艺 驱动电压 |
| 文章编号： | 1007-2683(2008)01-0086-04 |
| 修稿时间： | 2006年11月18 |
Design of RF MEMS Switches Using Torsion Spring |
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| SONG Ming-xin,XU Tie,YIN Jing-hua.Design of RF MEMS Switches Using Torsion Spring[J].Journal of Harbin University of Science and Technology,2008,13(1):86-89. |
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| Authors: | SONG Ming-xin XU Tie YIN Jing-hua |
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| Abstract: | In order to depress actuation voltage of RF MEMS switches,based on theories of torsion mechanics and deform mechanics,this paper puts forward the model of RF MEMS switches using torsion spring,establishes mathematical formula and technological process,simulates electromechanical performance of the switches with the different shapes.The results of fabrication process simulation indicate that the switches can be made by the present process.The results of performance simulation show that actuation voltage of RF MEMS switches using torsion spring drop 30% under the same condition. |
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| Keywords: | RF MEMS switch fabrication actuation voltage |
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