32 微电子器件SEU灵敏体积研究

航天微电子器件灵敏体积（Sv）的厚度d在预估空间单粒子效应中是一个关键参数。这是由于多数预估单粒子翻转（SEU）率的模型都用到灵敏体积的概念。人们假定器件灵敏区是个长方的六面体（RPP模型），当入射粒子在该长方六面体中沉积的能量大于临界能量时引起SEU等事件。由于缺乏灵敏体积的准确信息，通常采用2μm的厚度，使预估得出不满意的结果。器件灵敏层前面的死层厚度也严重的影响测量和预估的结果。研究从实验上测量灵敏体积（Sv）的实际大小，是精确预估器件空间SEE率的关键。