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| 半导体C-V测量基础C-V测量为人们提供了有关器件和材料特征的大量信息 | |
| 作者单位： | 吉时利仪器公司 |
| 摘 要： | 通用测试 电容-电压(C-V)测试广泛用于测量半导体参数,尤其是MOSCAP和MOSFET结构.此外.利用C-V测量还可以对其他类型的半导体器件和工艺进行特征分析,包括双极结型晶体管(BJT).JFET、Ⅲ-Ⅴ族化合物器件、光伏电池、MEMS器件、有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管(CNT)和多种其他半导体器件. |
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