| 基于共路光线漂移补偿的直线度测量 |
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| 引用本文： | 由凤玲,冯其波,张斌.基于共路光线漂移补偿的直线度测量[J].光学精密工程,2011,19(3):515-519. |
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| 作者姓名： | 由凤玲 冯其波 张斌 |
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| 作者单位： | 北京交通大学,发光与光信息技术教育部重点实验室,北京,1000441 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，科学仪器基础研究专项资助项目 |
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| 摘 要： | 针对影响激光测量直线度误差的主要因素之一激光光线漂移,提出了一种基于共路光线漂移补偿的直线度误差测量方法,给出了具体的测量原理和系统构成。从产生激光光线漂移的几个因素出发,理论分析了所产生的光线漂移对直线度误差测量的影响,建立了相对应的光线漂移补偿模型。结果表明,进行补偿后激光器出射光线引起的光线漂移在X方向的最大漂移量由28.4μm减少为5.6μm,Y方向的最大漂移量由21.6μm减少到5μm;由温度梯度引起的光线漂移经补偿后最大漂移量由65.7μm减少为8.9μm。实验结果与理论分析均表明,该方法能有效减少各种因素引起的光线漂移对直线度测量结果的影响,提高测量直线度误差的准确性。
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| 关 键 词： | 激光测量 直线度误差 光线漂移 共路补偿 |
Straightness error measurement based on common-path compensation for laser beam drift |
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| YOU Feng-ling,FENG Qi-bo,ZHANG Bin.Straightness error measurement based on common-path compensation for laser beam drift[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(3):515-519. |
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| Authors: | YOU Feng-ling FENG Qi-bo ZHANG Bin |
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| Affiliation: | (Key Laboratory of Luminescence and Optical Information,Beijing Jiaotong University,Beijing 100044,China) |
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