| 高灵敏度QVBA限位结构设计研究 |
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| 引用本文： | 林丙涛,周倩,曾小珊,唐光庆,满欣,周本清,李海. 高灵敏度QVBA限位结构设计研究[J]. 压电与声光, 2014, 36(4): 572-574 |
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| 作者姓名： | 林丙涛 周倩 曾小珊 唐光庆 满欣 周本清 李海 |
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| 作者单位： | (1.中国电子科技集团公司第26研究所, 重庆 400060;2.中国人民解放军驻重庆气体压缩机厂军事代表室，重庆 400050) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（41174162） |
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| 摘 要： | 石英振梁加速度计(QVBA)具有检测精度高、准数字输出的特点,灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题,设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片,既可对石英摆片的最大位移量进行限制以提高器件的抗冲击性能,又可增加石英摆片振动过程中的阻尼力以提高器件的抗振动性能,降低了加速度计一阶模态谐振频率的限制条件,有效提高了加速度计的灵敏度。最后依据加速度计的结构特点设计出了相应的工艺制作方案,并加工出了差分结构的加速度计样机,经测试其灵敏度为65.74Hz/g,10min零位稳定性为15.8μg。
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| 关 键 词： | 石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼 |
Design of High Sensitivity QVBA Restrainer |
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| LIN Bingtao,ZHOU Qian,ZENG Xiaoshan,TANG Guangqing,MAN Xin,ZHOU Benqing and LI Hai. Design of High Sensitivity QVBA Restrainer[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2014, 36(4): 572-574 |
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| Authors: | LIN Bingtao ZHOU Qian ZENG Xiaoshan TANG Guangqing MAN Xin ZHOU Benqing LI Hai |
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| Affiliation: | (1.26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Chongqing 400060,China;2.Chinese People Liberation Army Military Deputy Station of Chongqing Gas Lompressor Factory,Chongqing 400050,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | quartz vibrating beam accelerometer sensitivity restrainer differential damp |
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