| 激光功率变化引起的非线性误差对纳米测量精度的影响 |
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| 引用本文： | 许婕 徐毅 等. 激光功率变化引起的非线性误差对纳米测量精度的影响[J]. 计量学报, 1994, 15(4): 301-304 |
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| 作者姓名： | 许婕 徐毅 等 |
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| 作者单位： | 中国计量科学研究院 |
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| 摘 要： | 拍频干涉法可用于纳米，亚纳米级精度的位移测量，其测量不确定度主要敢决于单位频差－位移当非线性，本文对影响非线性的因素进行了试验分析和理论计算，结果表明，非线性范围为0.07-1.5nm.
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| 关 键 词： | 干涉仪 拍频测量 频率位移 拍频法 纳米级 位移测量 非线性误差 测量精度 激光功率 |
Effect of the Nonlinear Error of Laser Power on Nanometer Measurement in a Heterodyne Interferometer |
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| Xu Jie, Xu Yi, Li Chengyang. Effect of the Nonlinear Error of Laser Power on Nanometer Measurement in a Heterodyne Interferometer[J]. Acta Metrologica Sinica, 1994, 15(4): 301-304 |
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| Authors: | Xu Jie Xu Yi Li Chengyang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Interferometer Beat frequency measurement Frequency shift |
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