| SOI结构M-Z型调制器的有限元法分析 |
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| 引用本文： | 赵策洲,刘恩科,李国正,高勇,刘西钉.SOI结构M-Z型调制器的有限元法分析[J].电子与信息学报,1997,19(1):141-144. |
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| 作者姓名： | 赵策洲 刘恩科 李国正 高勇 刘西钉 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系，西安交通大学电子工程系，西安交通大学电子工程系，西安交通大学电子工程系，西安交通大学电子工程系 西安 710049，西安 710049，西安 710049，西安 710049，西安 710049 |
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| 基金项目： | 国家“863”计划基金 |
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| 摘 要： | 本文提出了采用有限元法分析SOI(Silicon on Insulator)结构M-Z(Mach-Zehnder)干涉型调制器的新方法。该方法在大截面单模SOI脊形波导理论的基础上,根据等离子体色散效应分析了这种调制器的电光调制机理;根据有限元法分析了p+n结大注入时该调制器的电学性质,从而为实际研制成这种干涉型调制器打下了理论基础。
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| 关 键 词： | 集成光学 调制器 有限元法 SOI |
| 收稿时间： | 1995-3-9 |
| 修稿时间： | 1996-1-4 |
FINITE ELEMENT ANALYSIS OF THE SOI STRUCTURE M-Z INTERFEROMETRIC MODULATOR |
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| Zhao Cezhou,Liu Enke,Li Guozheng,Gao Yong,Liu Xiding.FINITE ELEMENT ANALYSIS OF THE SOI STRUCTURE M-Z INTERFEROMETRIC MODULATOR[J].Journal of Electronics & Information Technology,1997,19(1):141-144. |
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| Authors: | Zhao Cezhou Liu Enke Li Guozheng Gao Yong Liu Xiding |
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| Affiliation: | Electronic Engineering Department,Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049 |
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| Abstract: | A new method for analysing SOI (Silicon on Insulator) structure Mach-Zehnder inter-ferometric modulator by using finite element method is put forward. On the basis of the theory of the single-mode SOI rib optical waveguides with large cross-section, the electro-optic modulating mechanism of the modulator is investigated by using the plasma dispersion effect, and the electrical characteristics of the device is analysed by using the finite element method at p+n junction large injected. So the method provides a basis of the theory for the device to be fabricated. |
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| Keywords: | Integrated optics Modulator Finite element method SOI material |
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