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| MEMS高温温度传感器的研制和测量精度研究 | |
| 引用本文： | 段力,高均超,丁桂甫.MEMS高温温度传感器的研制和测量精度研究[J].传感技术学报,2017,30(9). |
| 作者姓名： | 段力 高均超 丁桂甫 |
| 作者单位： | 上海交通大学电子信息与电气工程学院 |
| 摘 要： | 智能航空发动机及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器，为此制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器，该高温温度传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面，利用微技术制造的传感器和标准的热电偶进行了一系列的高温温度试验和一系列细致的高温温度表征测量研究。该微制造工艺攻克了两项技术难关：曲面表面的光刻技术和高温绝缘层的制作技术。涡轮叶片表面原位集成的微传感器不仅可以原位测量高达800C的环境温度，并且具有很高的机械强度，可以承受高达40g的振动和100g的冲力。研究还表明，在高温测量的环境下，高温温度的测量精度和高温环境的温度场（高温温度的空间分布与升温时间迟豫）密切相关。由于高温环境温度场的差异，可以产生高达10%的测量本征误差。 |
| 关 键 词： | 传感器，高温测量， MEMS 为制造工艺，软光刻技术，白金热电阻 |
Fabrication and High Temperature Characterization by MEMS Embedded High Temperature Sensor |
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| Abstract: | |
| Keywords: | sensor MEMS embedded fabrication high temperature measurement soft photolithography platinum thermal resistor |
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