首页
|
官方网站
微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Innova高精度尺寸光学测量机
作者姓名:
张
摘 要:
Micro-Metric公司开发的Innova光学测量系统可用于半导体、光电器件和微机电系统(MEMS)装置等微小尺寸的点到点(PTP)和视场(FOV)非接触式测量。视场测量的最小尺寸为0.5μm,测量精度可达0.010μm(10nm);除可手动进行单点测量外,还可通过编程进行全自动逐点顺序测量。[第一段]
关 键 词:
光学测量系统 微小尺寸 测量机 高精度 非接触式测量 微机电系统 光电器件 最小尺寸
本文献已被
维普
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号-23
京公网安备 11010802026262号