| 脉冲激光沉积AlN薄膜的工艺优化与机械性能 |
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| 引用本文： | 郑晓华,寇云峰,张继,宋建强,宋仁国.脉冲激光沉积AlN薄膜的工艺优化与机械性能[J].浙江工业大学学报,2013,41(2):204-209. |
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| 作者姓名： | 郑晓华 寇云峰 张继 宋建强 宋仁国 |
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| 作者单位： | 1. 浙江工业大学机械工程学院,浙江杭州,310032
2. 常州大学材料科学与工程学院,江苏常州,213164 |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光沉积(PLD)方法在单晶Si衬底上制备AlN薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)对薄膜的形貌和微观结构进行了分析;采用显微硬度仪、球-盘式磨损试验机和涂层自动划痕仪测试了薄膜的机械性能.通过正交实验,分析了工艺参数与AlN薄膜硬度之间的关系,得出沉积气压是对薄膜硬度影响大的因素,并研究了沉积气压对AlN薄膜表面形貌、微观结构、沉积速率、硬度、结合力和摩擦性能的影响.实验结果表明:所制备的薄膜均为非晶结构,随着沉积气压的上升,薄膜沉积速率降低,薄膜表面粗糙度降低,摩擦系数变小,当气压由0.1Pa增加到1Pa时,薄膜的硬度和耐磨性提高,但是随着气压进一步增大,其硬度和耐磨性下降.
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| 关 键 词： | 薄膜 氮化铝 脉冲激光沉积 正交试验 沉积气压 |
Process optimization and mechanical properties of AlN films prepared by PLD technique |
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| ZHENG Xiao-hua
,
KOU Yun-feng
,
ZHANG Ji
,
SONG Jian-qiang
,
SONG Ren-guo.Process optimization and mechanical properties of AlN films prepared by PLD technique[J].Journal of Zhejiang University of Technology,2013,41(2):204-209. |
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| Authors: | ZHENG Xiao-hua KOU Yun-feng ZHANG Ji SONG Jian-qiang SONG Ren-guo |
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| Affiliation: | 1.College of Mechanical Engineering,Zhejiang University of Technology,Hangzhou 310032,China; 2.School of Materials Science and Engineering,Changzhou University,Changzhou 213164,China) |
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