硅基室温电流注入Ge/Si异质结发光二极管 |
| |
引用本文: | 胡炜玄,成步文,薛春来,薛海韵,苏少坚,白安琪,罗丽萍,俞育德,王启明.硅基室温电流注入Ge/Si异质结发光二极管[J].激光与光电子学进展,2010(3). |
| |
作者姓名: | 胡炜玄 成步文 薛春来 薛海韵 苏少坚 白安琪 罗丽萍 俞育德 王启明 |
| |
作者单位: | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室; |
| |
基金项目: | 国家973计划(2007CB613404);;国家863计划(2006AA03Z415);;国家自炙科学基金(60676005)资助课题 |
| |
摘 要: | 目前,硅基光电集成所需的各个光子学单元已经取得了巨大的突破,并且与现有的微电子工艺完全兼容:硅基光波导在
|
关 键 词: | 电流注入 光电集成 异质结 微电子工艺 硅基光波导 兼容 发光二极管 光子学 |
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|