| 硅烷的纯化技术与检测分析方法 |
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| 引用本文： | 窦仕川,唐安江,韦德举,宗原,张妙鹤.硅烷的纯化技术与检测分析方法[J].广州化工,2013,41(5):43-46. |
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| 作者姓名： | 窦仕川 唐安江 韦德举 宗原 张妙鹤 |
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| 作者单位： | 贵州大学化学与化工学院,贵州 贵阳,550025 |
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| 摘 要： | 高纯硅烷主要用于电子和半导体行业中,是一系列含硅化合物的基本原料。概述了硅烷的纯化技术和分析方法。纯化技术有吸附法、冷冻法、精馏法;检测分析方法包括DID、PDHID气相色谱分析仪和气相色谱—质谱联用分析仪。
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| 关 键 词： | 硅烷 纯化技术 检测 分析 |
Purification Technology and Detection Analysis Method of Silane |
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| DOU Shi-chuan
,
TANG An-jiang
,
WEI De-ju
,
ZONG Yuan
,
ZHANG Miao-he.Purification Technology and Detection Analysis Method of Silane[J].GuangZhou Chemical Industry and Technology,2013,41(5):43-46. |
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| Authors: | DOU Shi-chuan TANG An-jiang WEI De-ju ZONG Yuan ZHANG Miao-he |
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| Affiliation: | (School of Chemistry and Chemical Engineering,Guizhou University,Guizhou Guiyang 550025,China) |
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| Abstract: | |
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