| 具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作 |
| |
| 引用本文： | 董玮,阮圣平,张歆东,刘彩霞,贾翠萍,潘建旋,张龙,孙东明,纪平,陈维友.具有倾斜下电极的扭臂驱动结构的设计与制作[J].半导体学报,2003,24(11). |
| |
| 作者姓名： | 董玮 阮圣平 张歆东 刘彩霞 贾翠萍 潘建旋 张龙 孙东明 纪平 陈维友 |
| |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,长春,130023 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金，吉林省科技发展计划 |
| |
| 摘 要： | 分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极.理论分析和实验结果表明,倾斜下电极的pull-in电压几乎比平面下电极的pull-in电压降低一半.
|
| 关 键 词： | 微机械 光开关 扭臂 倾斜下电极 |
Design and Fabrication of Torsion Beam Actuator Based on Slanted Low Electrode |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
