利用酞菁铅气体传感器的瞬态特性提高传感器的选择性 |
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引用本文: | 季振国,向因,朱玲,王龙成,芮祥新. 利用酞菁铅气体传感器的瞬态特性提高传感器的选择性[J]. 真空电子技术, 2002, 0(2): 30-32 |
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作者姓名: | 季振国 向因 朱玲 王龙成 芮祥新 |
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作者单位: | 浙江大学材料与化工学院,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
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基金项目: | 本文获得国家自然科学基金No.69776006和中日合作项目C050资助 |
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摘 要: | 通过真空蒸发沉积技术在叉指状电极上制备了酞菁铅薄膜气体传感器。实验发展,酞菁铅薄膜对甲醇和丙酮这两种蒸气具有很高的灵敏度。对于甲醇蒸气,酞菁铅薄膜具有很快的响应速度,吸附和脱附时间只要2-3s,信号随即趋于稳定。对于丙酮蒸气,在吸附的初试阶段酞菁铅薄膜的响应时间与吸附甲醇蒸气时的相差不大,但酞菁铅薄膜的电阻率在经过这个快速响应变化以后并不趋向一个稳定值而是缓慢上升,最后甚至比吸附前的电阻率略高。通过电阻率-气体吸附时间响应曲线的瞬态特性分析,方便、清楚地区分了甲醇和丙酮两种液体。
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关 键 词: | 选择性 酞菁铅 气体传感器 瞬态特性 |
文章编号: | 1002-8935(2002)02-0030-03 |
修稿时间: | 2001-12-12 |
Enhancing Selectivity of sensor by the gas Sensor Made of Lead Phthalocyanine and Its Transient Response |
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Abstract: | |
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