| 含氟有机硅改性多孔二氧化硅减反膜 |
| |
| 引用本文： | 张清华,杨伟,马红菊,马平,许乔.含氟有机硅改性多孔二氧化硅减反膜[J].光学学报,2009,29(6). |
| |
| 作者姓名： | 张清华 杨伟 马红菊 马平 许乔 |
| |
| 作者单位： | 成都精密光学工程研究中心,四川,成都,610041 |
| |
| 摘 要： | 二氧化硅减反膜的结构疏松,且胶粒表面存在大量羟基,膜层极易吸附环境中的水分和有机蒸气,透射比稳定性较低.为了改善原有减反膜的环境稳定性,以3,3,3-三氟丙基三甲氧基硅烷和3,3,3-三氟丙基甲基二乙氧基硅烷为掺杂剂,正硅酸乙酯为前躯体,采用溶胶-凝胶法制备了两个系列的SiO2减反膜.结果表明,含氟硅氧烷改性的系列膜层的疏水性能均得到显著增强.CF3-CH2-CH2-Si或CF3-CH2-CH2-Si-CH3质量分数在0.40%～1.5%的范围内时,二氧化硅膜层的减反效果较好.掺入含氟硅氧烷在一定质量分数时,膜层的抗激光损伤性能受到的影响不大.10-3Pa高真空环境的实验表明,膜层的稳定性有较大提高,含氟硅氧烷改性延长了减反膜的使用寿命.
|
| 关 键 词： | 薄膜光学 含氟硅氧烷 溶胶-凝胶 减反膜 二氧化硅 稳定性 |
Modification of Porous Silica Antireflective Coatings with Fluorine-Containing Organosilicon |
| |
| Zhang Qinghua,Yang Wei,Ma Hongju,Ma Ping,Xu Qiao.Modification of Porous Silica Antireflective Coatings with Fluorine-Containing Organosilicon[J].Acta Optica Sinica,2009,29(6). |
| |
| Authors: | Zhang Qinghua Yang Wei Ma Hongju Ma Ping Xu Qiao |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
