不锈钢圆筒形中温黑体炉的研究

研究了腔体的合理结构,利用靶后腔体加热并控制靶温在开口尺寸较大(φ51mm)的条件下可使腔壁温度分布均匀。该黑体炉的工作温度为300～800℃,腔壁温度分布较均匀的有效长度为300～320mm,腔体内径为φ63mm,有效长度内腔壁最大温差精确控制可在2.5℃以内。