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| 一种性能优越的CaAs外延片 | |
| 作者姓名： | 胡才雄 |
| 摘 要： | 美国BDH化学公司最近研制成一种性能优越的新GaAs外延片,用它制成的调正变容二极管,其微波调谐系数的最大值将增加一倍多。为满足所必需的电容变化,该GaAs外延片在活性区域的掺杂浓度分布,是由该公司通过特殊工艺制备而得,他们使其从衬底表面到外延层表面的载流子浓度分布逐渐降 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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