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Ti缓冲层对ZnO薄膜吸收特性和荧光光谱的影响
引用本文:张小雷,马书懿,杨付超,黄新丽,马李刚,李发明,赵强,刘静,靳钰珉.Ti缓冲层对ZnO薄膜吸收特性和荧光光谱的影响[J].功能材料,2012,43(24):3337-3340.
作者姓名:张小雷  马书懿  杨付超  黄新丽  马李刚  李发明  赵强  刘静  靳钰珉
作者单位:1. 西北师范大学物理与电子工程学院,甘肃兰州,730070
2. 西北师范大学物理与电子工程学院,甘肃兰州730070 甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室,甘肃兰州730070
基金项目:国家自然科学基金资助项目,甘肃省自然科学基金资助项目,西北师范大学大学生科技创新基金对本项目的大力资助 致谢:感谢西北师范大学大学生科技创新基金对本项目的大力资助!
摘    要:采用射频磁控溅射法在Si衬底和玻璃衬底上制备了ZnO/Ti薄膜,利用紫外-可见分光光度计和荧光分光光度计等技术表征了ZnO/Ti薄膜的光学特性,研究了Ti缓冲层的厚度对ZnO薄膜的影响。透射吸收光谱显示所有ZnO薄膜在可见光区域的平均透过率超过80%,当引入缓冲层后,薄膜的紫外吸收边先向长波方向移动,且随着缓冲层厚度的增加紫外吸收边向短波方向移动。薄膜的荧光光谱显示,所有样品出现了位于390nm的紫外发光峰,435和487nm的蓝光双峰以及525nm的绿光峰,并对各发光峰的来源进行了探讨。

关 键 词:Ti缓冲层  紫外-可见光吸收光谱  荧光光谱  ZnO薄膜  磁控溅射

Effects of Ti buffer layer on the absorption characteristic and fluorescence spectrum of ZnO films
ZHANG Xiao-lei,MA Shu-yi,YANG Fu-chao,HUANG Xin-li,MA Li-gang,LI Fa-ming,ZHAO Qiang,LIU Jing,JIN Yu-min.Effects of Ti buffer layer on the absorption characteristic and fluorescence spectrum of ZnO films[J].Journal of Functional Materials,2012,43(24):3337-3340.
Authors:ZHANG Xiao-lei  MA Shu-yi  YANG Fu-chao  HUANG Xin-li  MA Li-gang  LI Fa-ming  ZHAO Qiang  LIU Jing  JIN Yu-min
Affiliation:1(1.College of Physics and Electronic Engineering,Northwest Normal University,Lanzhou 730070,China; 2.Key Laboratory of Atomic and Molecular Physics & Functional Materials of Gansu Province, Lanzhou 730070,China)
Abstract:
Keywords:Ti buffer layer  absorption characteristic  fluorescence spectrum  ZnO film  RF magnetron sputtering
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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