| 多维微驱动器纳米定位系统的研究 |
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| 引用本文： | 刘红忠,丁玉成,李涤尘,卢秉恒,李寒松.多维微驱动器纳米定位系统的研究[J].信息与控制,2002,31(5):446-450. |
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| 作者姓名： | 刘红忠 丁玉成 李涤尘 卢秉恒 李寒松 |
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| 作者单位： | 西安交通大学先进制造技术研究所,西安,710049 |
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| 基金项目： | 陕西省重大科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 本文论述了在有多维微驱动器定位系统中，应用PID和FUZZY联合控制的方式解决定
位中存在的速度调节与系统振荡的矛盾；应用坐标变换方式解决多维定位系统中的干涉现象
；以及在实际系统中，采用直线电机与微驱动器联合驱动的硬件构架，并配以上述控制策略
，对定位系统进行粗定位和微定位，最终实现大范围和高精度的定位系统.
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| 关 键 词： | 多维微驱动器 PID和FUZZY控制 坐标变换 定位系统 |
| 文章编号： | 1002-0411(2002)05-446-04 |
SUBMICRO-POSITIONING SYSTEM BASED ON MULTI-DIMENSIONAL ULTRAPRECISE MICRO ACTUATORS |
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| LIU Hong-zhong DING Yu-cheng LI Di-chen LU Bing-heng LI Han-song.SUBMICRO-POSITIONING SYSTEM BASED ON MULTI-DIMENSIONAL ULTRAPRECISE MICRO ACTUATORS[J].Information and Control,2002,31(5):446-450. |
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| Authors: | LIU Hong-zhong DING Yu-cheng LI Di-chen LU Bing-heng LI Han-song |
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| Abstract: | In this paper, an approach is presented to resolve confliction between speed adjustment and system oscillation in a submicro-positioning by using PID and FUZZY controlling method. A coordinate transformation is applied to minimization the inter-axial interference in the multi-dimensional submicro-actuator positioning system. In the experiment, the composition for the control system is made of three linear motors and three submicro-actuators, with is capable of realizing the positioning of a wide range and submicro precision. |
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| Keywords: | multi-dimensional submicro-actuator PID and FUZZY control coordinate transformation positioning system |
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