高纯氟甲烷中杂质含量色谱分析

高纯氟甲烷作为新型的含氟电子气体,常温下是一种无毒、无色、无嗅、可燃的存储在钢瓶中的液化气体。一氟甲烷作为刻蚀气体对纯度要求甚为严格,往往需要大于99.99%,甚至99.999%。探讨了高纯氟甲烷的杂质含量分析方法,采用高灵敏度的氦离子化放电检测器(DID),高效的色谱柱系统,实现了对其中杂质含量的分析。