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用AES研究铝薄膜与基体金属铀之间的界面反应
引用本文:周韦,刘柯钊,杨江荣,肖红,蒋春丽,陆雷.用AES研究铝薄膜与基体金属铀之间的界面反应[J].原子能科学技术,2005,39(Z1):151-155.
作者姓名:周韦  刘柯钊  杨江荣  肖红  蒋春丽  陆雷
作者单位:中国工程物理研究院,四川,绵阳,621907
摘    要:在俄歇电子能谱(AES)仪超高真空分析室中利用氩离子溅射沉积方法将Al沉积在U基体上.对不同Al沉积量的铀表面实时采集AES和低能电子损失谱(EELS),以研究沉积Al原子与U表面原子间的相互作用以及Al膜的生长过程.将实验样品进行退火处理后进行深度剖析.研究结果表明Al沉积在U基体上是以岛状方式生长的;室温下,沉积Al原子与U表面原子间存在界面作用,两者在界面处相互扩散形成了合金相.退火促使界面扩散速率增大,界面结合力增强,并有可能形成化合物UAlx.

关 键 词:  铝薄膜  界面  俄歇电子能谱
文章编号:1000-6931(2005)S0-0151-05
修稿时间:2005年1月5日

Auger Electron Spectroscopy Study on Interaction Between Aluminum Thin Layers and Uranium Substrate
ZHOU Wei,LIU Ke-zhao,YANG Jiang-rong,XIAO Hong,JIANG Chun-li,Lu Lei.Auger Electron Spectroscopy Study on Interaction Between Aluminum Thin Layers and Uranium Substrate[J].Atomic Energy Science and Technology,2005,39(Z1):151-155.
Authors:ZHOU Wei  LIU Ke-zhao  YANG Jiang-rong  XIAO Hong  JIANG Chun-li  Lu Lei
Abstract:
Keywords:
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