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| Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜 | |
| 引用本文： | 侯识华,宋世庚,郑应智,马远新,郑毓峰. Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜[J]. 材料科学与工艺, 2002, 10(1): 107-112 |
| 作者姓名： | 侯识华 宋世庚 郑应智 马远新 郑毓峰 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院,新疆物理研究所,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830011 2. 新疆医科大学基础部,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830054 3. 新疆大学物理系,新疆维吾尔自治区,乌鲁木齐,830046 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(19702016) |
| 摘 要： | 介绍了Sol-Gel法，并对近年来Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的有关研究进行了分析和总结，详细介绍了Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜材料的各种原料及工艺流程。 |
| 关 键 词： | Sol－Gel法 PLZT 铁电薄膜 钛酸盐 制备 工艺流程 原料 |
| 文章编号： | 1005-0299(2002)01-0107-06 |
| 修稿时间： | 2000-10-21 |
Preparation of PLZT-based ferroelectric thin films by Sol-Gel method |
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| HOU Shi-hua ,SONG Shi-geng ,ZHENG Ying-zhi ,MA Yuan-xin ,ZHENG Yu-feng. Preparation of PLZT-based ferroelectric thin films by Sol-Gel method[J]. Materials Science and Technology, 2002, 10(1): 107-112 | |
| Authors: | HOU Shi-hua SONG Shi-geng ZHENG Ying-zhi MA Yuan-xin ZHENG Yu-feng |
| Affiliation: | HOU Shi-hua 1,SONG Shi-geng 1,ZHENG Ying-zhi 1,MA Yuan-xin 2,ZHENG Yu-feng 3 |
| Abstract: | In this paper,the Sol-Gel method is reviewed and researches on PLZT-based ferroelectric thin films prepared by Sol-Gel method in recent years are summarized and analysized.The precursors and tech-nological processes of preparing PLZT-based ferroelectric thin films by Sol-Gel method are discussed. |
| Keywords: | Sol-Gel method PLZT ferroelectric thin films PLZT |
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