BNT KBT BT薄膜的制备及外场下电畴翻转

采用金属有机物热分解法在Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备了085(Bi05Na05)TiO3 010(K05Bi05)TiO3 005BaTiO3(85BNT 10KBT 5BT)薄膜。通过X射线衍射仪、扫描探针显微镜（SEM）、压电力显微镜(PFM)等对薄膜的结构和外场下的电畴演变进行了表征及研究。结果表明，该薄膜微观结构主要由钙钛矿相和少量的焦绿石相组成，表面无明显裂纹和孔洞，其最大压电系数d33=150 pm/V；通过PFM观察到在电场作用下，其电畴可实现180°翻转，在力场作用下其电畴可实现90°翻转，并结合微观结构对电畴在外场下的演变机理进行了研究。该研究为铁电薄膜在MEMS中的应用提供了参考。