MEMS器件与光纤网络

MOEMS器件是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展，以及微光学与微电子学的互相结合而发展起来的，它给光纤网络带来了巨大的变革。MOEMS器件不仅符合今天光纤网络对性能的要求，也满足下一代系统对元件规模，小尺寸和低功耗等方面的要求，光纤网络中MEMS技术必将会得到更加广泛的应用。