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氮碳薄膜反应溅射沉积过程的OES诊断

引用本文：	赵菁,王金国.氮碳薄膜反应溅射沉积过程的OES诊断[J].量子电子学,1996,13(5):434-435.

作者姓名：	赵菁王金国

摘要：
关键词：	氮碳薄膜等离子体光发射谱 OES 诊断沉积
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