| 基于MEMS工艺的集成红外气体传感器工艺研究 |
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| 引用本文： | 朱腾飞,李辉,李明燃,王彬,彭中良,赖建军.基于MEMS工艺的集成红外气体传感器工艺研究[J].激光与红外,2014,44(5):533-538. |
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| 作者姓名： | 朱腾飞 李辉 李明燃 王彬 彭中良 赖建军 |
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| 作者单位： | 华中科技大学光学与电子信息学院 武汉光电国家实验室，湖北 武汉430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（No.61077078）资助 |
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| 摘 要： | 研究了一种采用MEMS技术实现的含有红外发射源和探测单元的片上集成红外气体传感器芯片。通过理论分析证明了探测器和红外发射源可以集成在同一衬底上的可行性,采用正面刻蚀和背面ICP深刻蚀硅工艺实现红外发射元和探测单元的悬空热隔离结构,可以使红外发射源和探测器同时工作在较好的性能状态下。通过对红外气体传感器的红外发射源和探测单元的测试,表明两种单元均可以正常工作,验证了这种集成工艺的可行性。
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| 关 键 词： | 集成器件 红外气体传感器 MEMS 红外发射源 红外探测器 |
Research on process of integrated-infrared gas sensor based on MEMS technology |
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| ZHU Teng-fei,LI Hui,LI Ming-ran,WANG Bin,PENG Zhong-liang,LAI Jian-jun.Research on process of integrated-infrared gas sensor based on MEMS technology[J].Laser & Infrared,2014,44(5):533-538. |
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| Authors: | ZHU Teng-fei LI Hui LI Ming-ran WANG Bin PENG Zhong-liang LAI Jian-jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | integrated devices infrared gas sensor MEMS infrared emitter infrared detector |
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