| 基于SOI的低横向灵敏度压阻式加速度计的设计 |
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| 引用本文： | 林立娜,梁庭,李鑫,杨娇燕,李奇思,雷程. 基于SOI的低横向灵敏度压阻式加速度计的设计[J]. 微纳电子技术, 2019, 0(6): 466-472 |
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| 作者姓名： | 林立娜 梁庭 李鑫 杨娇燕 李奇思 雷程 |
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| 作者单位： | 1.中北大学电子测试技术重点实验室;2.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金杰出青年基金资助项目(51425505) |
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| 摘 要： | 提出了一种非同一平面的双弯曲梁的压阻式加速度计,在加速度作用下该结构梁的质心与质量块的质心对齐,从而实现低横向效应。利用SOLIDWORKS软件建立了结构模型,并用Comsol仿真软件和有限元ANSYS仿真软件对其进行静态分析、模态分析和电学性能分析。分析了影响频率和灵敏度的相关参数,对加速度计的结构参数进行了优化。设计了一套版图以及工艺加工方案,采用微电子机械系统(MEMS)标准工艺完成了加速度计的制备。最后进行精密离心机测试,结果表明该结构的加速度计具有较低的横轴灵敏度,其中X轴的横向灵敏度为0.078%,Y轴的横向灵敏度为0.002%,比较高的主轴灵敏度,Z轴灵敏度为0.64 mV/g。
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| 关 键 词： | 压阻式加速度计 微电子机械系统(MEMS) 绝缘体上硅(SOI) 低横向灵敏度 有限元仿真 |
Design of the Low Cross Axis Sensitivity Piezoresistive Accelerometer Based on SOI |
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| Lin Lina,Liang Ting,Li Xin,Yang Jiaoyan,Li Qisi,Lei Cheng. Design of the Low Cross Axis Sensitivity Piezoresistive Accelerometer Based on SOI[J]. Micronanoelectronic Technology, 2019, 0(6): 466-472 |
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| Authors: | Lin Lina Liang Ting Li Xin Yang Jiaoyan Li Qisi Lei Cheng |
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| Affiliation: | (Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory,North University of China , Taiyuan 030051, China;Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education , North University of China , Taiyuan 030051, China) |
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| Abstract: | Lin Lina;Liang Ting;Li Xin;Yang Jiaoyan;Li Qisi;Lei Cheng(Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory,North University of China , Taiyuan 030051, China;Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement of Ministry of Education , North University of China , Taiyuan 030051, China) |
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| Keywords: | piezoresistive accelerometer micro-electromechanical system(MEMS) silicon-on-insulator(SOI) low cross axis sensitivity finite element simulation |
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