| 辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断 |
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| 引用本文： | 付亚波,张跃飞,张广秋,高原,王建忠,隗晓云.辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断[J].真空科学与技术学报,2006,26(2):114-117. |
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| 作者姓名： | 付亚波 张跃飞 张广秋 高原 王建忠 隗晓云 |
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| 作者单位： | 1. 北京印刷学院,等离子体物理及材料研究室,北京,102600
2. 太原理工大学表面工程与技术研究所,太原,030024 |
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| 摘 要： | 利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断。实验以氮气为工作气体，通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定，测量了电子温度随放电气压40Pa～80Pa和电压500V～1000～的变化。并探讨了电子温度随气压和电压变化的原因。结果表明，该放电为典型的反常辉光等离子体放电，电子温度在1eV～15eV之间变化，且随工作气压和电压的的升高迅速增大，这与实际观测的放电效果相符合，实验结果表明，发射光谱法是测量离子渗金属中等离子体参数的一种有效手段。
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| 关 键 词： | 辉光放电 等离子体参数 发射光谱诊断 |
| 文章编号： | 1672-7126（2006）02-0114-04 |
| 收稿时间： | 2005-08-27 |
| 修稿时间： | 2005年8月27日 |
Optical Emission Spectroscopy Diagnosis of Plasma Parameters in Surface Alloying |
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| Fu yabo,Zhang Yuefei,Zhang Guangqiu,Gao Yuan,Wang Jianzhong,Kui Xiaoyun.Optical Emission Spectroscopy Diagnosis of Plasma Parameters in Surface Alloying[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(2):114-117. |
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| Authors: | Fu yabo Zhang Yuefei Zhang Guangqiu Gao Yuan Wang Jianzhong Kui Xiaoyun |
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| Affiliation: | 1. Dept. of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing, 102600, China; 2. Institute of Surface Engineering, Taiyuan University of Technology, Taiyuan, 030024, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Glow discharge Plasma parameters Optical emission spectrometry diagnosis |
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