准LIGA工艺的关键技术 |
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引用本文: | 陈光焱.准LIGA工艺的关键技术[J].工程物理研究院科技年报,2004(1):225-225. |
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作者姓名: | 陈光焱 |
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摘 要: | 准LIGA(Lithography,Electroforming,Molding)技术采用便宜的紫外光作光源,可加工出较高精度的微结构产品,且加工温度较低,使得它在微传感器、微执行器等微结构产品加工中显示出突出的优点。利用现有实验条件在所内首次开展准LIGA技术的研究,主要研究厚胶光刻和微电铸技术。基本流程为:在导电的基片上经涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜等工艺过程得到胶模,再利用该胶模进行微电铸,即金属沉积,沉积过程中需要控制好温度、pH值、电流密度等参数,最后将金属结构和光刻胶进行分离,得到三维立体金属结构,如图1所示。
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关 键 词: | 准LIGA技术 准LIGA工艺 加工温度 产品加工 金属结构 微传感器 微执行器 实验条件 |
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