低温共烧陶瓷表面共烧电阻浆料制备的研究 |
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引用本文: | 李建辉,王桦.低温共烧陶瓷表面共烧电阻浆料制备的研究[J].混合微电子技术,1999,10(2):116-119. |
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作者姓名: | 李建辉 王桦 |
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摘 要: | 研究了导电相和玻璃相对共烧厚膜电阻表面状况和稳定性的影响,结果表明:当厚膜电阻中玻璃相软化点接近或低于基板中玻璃相的软化点时,共烧厚膜电阻与基板保持良好的工艺匹配;当厚膜电阻的热膨胀系数接近基板的热膨胀系数时,电阻具有较好的常温、高温等稳定性,X射线衍射分析表明,厚膜电阻与基板之间的不良反应降代电阻的稳定性。
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关 键 词: | 低温共烧陶瓷 封装 微电子 表面共烧厚膜电阻 电阻浆料 阻值稳定性 |
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